No.181　最先端のものづくりを支える日本の半導体製造装置産業 ～課題と展望～

　家電や半導体メーカーが苦戦する中でも、日本の半導体製造装置メーカーは海外売上の拡大や研究開発への注力などを通じて相応の世界シェアを維持しており、半導体のグローバルサプライチェーンで重要な役割を果たしています。一方、10ナノメートル台への微細化や450ミリウェーハに対応する製造装置の開発には巨額の資金が必要とされ、海外では製造装置メーカー間でのＭ＆Ａや、半導体メーカーと製造装置メーカーによる共同開発の動きが活発になっています。本稿では、特許データからみた技術力の分析も踏まえながら、日系半導体製造装置メーカーの課題を分析し、今後の方向性を展望します。